以雷射輔助電漿增強式化學氣相沈積法之矽薄膜太陽能電池特性研究
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- 資料識別：
- A10021121
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳彥志(Chen， Yen-chih) 林子舜(Lin， Tzu-shun) 李欣縈(Lee， Hsin-ying) 李清庭(Lee， Ching-ting)
- 主題與關鍵字：
- 二氧化碳雷射 雷射輔助電漿增強式化學氣相沉積系統 微晶矽 太陽能電池 CO₂ laser Laser assistance plasma enhanced chemical vapor deposition Microcrystalline silicon Solar cell
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:23:1 2010.03[民99.03]
- 頁次:頁44-48
- 日期：
- 20100300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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